Страница 3 из 12
Выбор величины ускоряющего напряжения
Повышение ускоряющего напряжения увеличивает четкость изображения и пространственное разрешение вследствие уменьшения длины волны опорного излучения (рисунок 73).
Рисунок 73 – Влияние ускоряющего напряжения на пространственное разрешение частиц золота (при 25кВ отношение сигнал/шум выше, чем при 5 кВ)
У непроводящих образцов понижение ускоряющего напряжения снимает излишнюю зарядку образца, выявляя мелкие детали (рисунок 74).
Рисунок 74 – Влияние ускоряющего напряжения на зарядку непроводящих образцов (при 5 кВ улучшается проработка поверхности непроводящих частиц тонера по сравнению с 30кВ)
