Страница 4 из 12
Снижение повреждения образцов (под воздействие локального нагрева пучком) достигается понижением ускоряющего напряжения, уменьшением времени экспозиции снимка, фотографированием большой области образца с малым увеличением, контролем толщины проводящего покрытия на поверхности исследования образца (рисунок 75).
Рисунок 75 – Снижение повреждения образцов при понижении ускоряющего напряжения (глаз мухи) (а – неповрежденная поверхности образца при малых ускоряющих напряжениях, б - поврежденная поверхность)
Кроме того, при увеличении ускоряющего напряжения, начинают проявляться краевые эффекты (рисунок 76).
Рисунок 76 – Краевые эффекты скопления заряда (микросхема)
