Страница 1 из 9
Лекция 3. Методы измерения рентгеновского излучения в РЭМ: спектроскопия с дисперсией по энергии (ЭДС) и спектроскопия с дисперсией по длинам волн (ВДС)
Структура лекции
- Введение в спектроскопию с дисперсией по энергии (ЭДС, EDS, EDX).
- Принцип работы спектрометра с дисперсией по энергии и процесс детектирования
- Конструктивные особенности детектора с дисперсией по энергии
- Артефакты ЭДС (уширение и искажение пиков на спектрах, пропуск пиков Si,край поглощения)
- Введение в спектроскопию с дисперсией по длинам волн (WDS, ВДС)
- Компоненты ВДС
- Сравнение эффективность ЭДС и ВДС: геометрическая эффективность, количественная эффективность, разрешение, скорость счета, величина тока зонда, скорость анализа
