Лабораторная работа № 2. Знакомство с пользовательским интерфейсом растрового электронного микроскопа
Выбор типа сигналов
Для построения изображения в растровом электронном микроскопе используются различные типы сигналов (рисунок 6, таблица 3), появляющиеся при взаимодействии сфокусированного пучка электронов с образцом, которые регистрируются детекторами.
Итак, высокоэнергетические электроны при взаимодействии с образцом испытывают как упругое, так и неупругое взаимодействие. При упругом электроны взаимодействуют с ядрами атомов, частично экранированных связанными электронами, при этом изменяется траектория электронов внутри образца без существенного изменения их энергии, при неупругом – происходит передача энергии образцу, приводящая к образованию вторичных электронов, оже-электронов, характеристического и непрерывного (тормозного) рентгеновского излучения, катодолюминесценции. Все эти взаимодействия могут быть использованы для получения информации о природе объекта – форме, составе, кристаллической структуры и т.д.
Таблица 2 – Описание кнопок настройки изображения
