Лабораторная работа № 2. Знакомство с пользовательским интерфейсом растрового электронного микроскопа
Таблица 3 – Описание используемых типом сигналов
Выбор ускоряющего напряжения HV (рисунок 7, 8)
Повышение ускоряющего напряжения увеличивает четкость изображения и пространственное разрешение вследствие уменьшения длины волны опорного излучения. У непроводящих образцов понижение ускоряющего напряжения снимает излишнюю зарядку образца, выявляя мелкие детали.
Снижение повреждения образцов (под воздействие локального нагрева пучком) достигается понижением ускоряющего напряжения, уменьшением времени экспозиции снимка, фотографированием большой области образца с малым увеличением, контролем толщины проводящего покрытия на поверхности исследования образца.
Рисунок 7 – Выбор ускоряющего напряжения
Рисунок 8 – Влияние ускоряющего напряжения
