Лабораторная работа № 2. Знакомство с пользовательским интерфейсом растрового электронного микроскопа
Настройка яркости производится кнопками Contrast и Brightness на кнопках настройки изображения, либо вращением ручек на пульте оператора.
Рисунок 5 – Операционная панель под основным экраном
Значительная доля электронов пучка, которые бомбардируют образец, впоследствии вылетают из нее. Они называются отраженными электронами. Их количество растет с возрастанием атомного номера материала. Этот тип электронов несет информацию о природе объекта, усредненную по глубине зоны анализа (обычно эта величина порядка 1 мкм). Надо отметить, что отраженные электроны также «чувствуют» и топографию поверхности.
В результате взаимодействия с атомами образца электроны первичного пучка могут передать часть своей энергии электронам из зоны проводимости, то есть слабо связанным с атомами. В результате такого взаимодействия может произойти отрыв электронов и ионизация атомов. Такие электроны называются вторичными. Эти электроны обычно обладают небольшой энергией (порядка 50 эВ). Принимая во внимание, что вторичные электроны генерируются тонкими приповерхностными слоями, они очень чувствительны к состоянию поверхности. Минимальные изменения отражаются на количестве собираемых электронов. Таким образом этот тип электронов несет в себе информацию о рельефе образца.
Рисунок 6 – Выбор типа сигналов
