4.3.2 Оже-электроны
Ввиду низкой энергии, Оже-электроны, покидают поверхность только из очень тонкого слоя. Они содержат информацию о химическом составе и, следовательно, является одним из аналитических методов анализа химического состава поверхности образцов. Из-за сходства в энергиях между Оже-электронами и характеристическими рентгеновскими лучами, возникает вопрос, почему исследование легких элементов в образцах методом ЕДС характеристического рентгеновского излучения не является только поверхностным методом? Дело в том, что характеристическое рентгеновское излучение гораздо менее сильно поглощается в образце, чем электроны при одинаковой энергии. Так что большинство рентгеновских лучей, генерируемых в тонком образце в ПЭМ могут выйти из образца и быть детектированы.
Так как Оже-излучение сугубо поверхностное явление, состояние поверхности образца имеет первостепенное значение. Окисление или загрязнение будет препятствовать интерпретации Оже-анализа, и установлению истинного химического состава поверхности, поэтому такое исследование может проводиться только в ультравысоковакуумных системах. В результате, Оже-сигнал традиционно игнорируется в электронной микроскопии и приурочен к области химии поверхности, наряду с такими методами, как химический анализ методом электронной спектроскопии и масс спектрометрия вторичных ионов. Построение таких систем с использованием просвечивающего электронного микроскопа является очень сложной задачей, и подобные исследования все еще очень редки
