8.1 Вакуум в ПЭМ
1 мм.рт.ст = 130 Па
1 Па = 7.5×10-3 мм.рт.ст
1 Бар - атмосферное давление (760 мм.рт.ст) и эквивалентно 105 Па
100-0.1 Па (~1 - 10-3 мм.рт.ст) - предварительный вакуум.
0.1-10-4 Па (~10-3 - 10-6 мм.рт.ст) низкий вакуум.
10-4 – 10-7 Па (~10-6 – 10-9 мм.рт.ст) высокий вакуум.
<10-7 Па (<10-9 мм.рт.ст) сверхвысокий вакуум.
Как правило, для создания предварительного вакуума используется один тип насосов, после создания предварительного вакуума включается другой тип насосов, который создает уже высокий вакуум. ПЭМ должен постоянно находится в вакууме, если только он не находится на ремонте или обслуживании. Если вам необходимо получить доступ к внутренней части колонны для замены образца, источника электронов, или фотопластинки, вы делаете это через систему шлюзов, которые можно откачивать отдельно. Есть много различных видов насосов, используемых в ПЭМ, и вам часто приходится делать выбор при покупке микроскопа. Как и большинство вещей, вы получаете то, за что вы платите, и чистые системы сверхвысокого вакуума стоят очень дорого. Мы можем разделить насосы на форвакуумные насосы, высоковакуумные/сверхвысоковакуумные насосы, которые будут обсуждены ниже.
