Лекция 2. Взаимодействие электронного пучка с образцом
Страница 12 из 13
В современных реализациях таких спектрометров охлаждение осуществляется за счет применения элемента Пельтье.
Исходя из поставленной исследователем задачи, точности и скорости анализа подбирают тот или иной тип детектора. В таблице 1 приведено сравнение характеристик различных спектральных детекторов, устанавливаемых в РЭМ.
Рисунок 27 – Спектрометр с дисперсией по энергии
