Лекция 2. Взаимодействие электронного пучка с образцом
2.7 ДЕТЕКТОРЫ СИГНАЛОВ
Для того чтобы сформировать изображение в РЭМ, нужно использовать соответствующий детектор для преобразования интересующего нас излучения, выходящего из образца, в электрический сигнал, который после прохождения усилителя модулирует интенсивность на рабочем экране для наблюдения и фотографирования.
Любую детекторную систему характеризуют 3 важных параметра:
1) Угол по отношению к поверхности образца, под которым детектор принимает интересующий нас сигнал (угол приема или выхода);
2) Телесный угол, в котором детектор принимает сигнал;
3) Эффективность преобразования детектором излучения в электрический сигнал.
Детекторы типа Эверхарта-Торнли
Самый распространенный и первый разработанный детектор был детектор Эверхарта-Торнли (типа сцинтиллятора-фотоумножителя) ( рисунок 24). Электроны после выхода из образца попадают на сцинтиллятор, где формируются фотоны. Фотоны двигаются по световоду и попадают на фотоумножитель. Здесь создается импульс с усилением в 105-106 и малым уровнем шума. При этом детектируются как вторичные, так и некоторая часть отраженных электронов.
