Эффективность сбора рентгеновского излучения

Низкая – типичный телесный угол около 0.001 стерадиан

Более высокая – обычно 0.005-0.1 стерадиан. ЭДС детектор можно приблизить к образцу.

Требуемый ток зонда

Высокий – обычно не менее 10нA из-за низкой эффективности сбора

Низкий – вплоть до значений менее 0.1 нA

Спектральное разрешение

Хорошее – зависит от кристалла, обычно порядка 5-10 эВ

Хуже – зависит от энергии, обычно  менее 133 эВ на линии Mn Ka,  менее 65 эВ на линии С Ka

Пределы обнаружения элементов

<0.01%. В зависимости от матрицы и элемента могут достигать нескольких частей на миллион

Хуже, обычно 0.1- 0.5%

Скорость выполнения анализа

Медленная – элементы анализируются последовательно один за другим. Последовательный анализ.

Быстрая – все элементы анализируются одновременно. Параллельный анализ.

Количественный анализ

Легко  - измеряется пик и вычитается фон

Относительно сложно – для деконволюции перекрывающихся пиков и вычитания фона требуются сложные алгоритмы

Применение

Требует высокой квалификации и внимания от оператора.

Требует высокой квалификации и внимания от оператора.