Лекция 2. Взаимодействие электронного пучка с образцом
2.3 ОТРАЖЕННЫЕ ЭЛЕКТРОНЫ
Значительная доля электронов пучка, которые бомбардируют мишень, впоследствии вылетают из нее. Они называются отраженными электронами. Их количество растет с возрастанием атомного номера материала. Этот тип электронов несет информацию о природе объекта, усредненную по глубине (рисунок 17). Примеры электронных изображений структуры материалов в сигнале отраженных электронов приведены на рисунке 18.
2.4 ВТОРИЧНЫЕ ЭЛЕКТРОНЫ
В результате взаимодействия с атомами образца электроны первичного пучка могут передать часть своей энергии электронам из зоны проводимости, то есть слабо связанным с атомами. В результате такого взаимодействия может произойти отрыв электронов и ионизация атомов. Такие электроны называются вторичными. Эти электроны обычно обладают небольшой энергией (порядка 50 эВ) (рисунок 19). Любой электрон первичного пучка обладает энергией, достаточной для появления нескольких вторичных электронов.
