Лекция 3. Структура растрового электронного микроскопа (РЭМ)
Страница 8 из 19
У FE рабочая температура намного ниже, чем у катода с термоэлектронной эмиссией
FE требует значительно более высокого вакуума и более дорогой.
Рисунок 34 - Катод из гексаборида лантана: электронное изображение (а) и схема его крепления (б)
