Лекция 3. Структура растрового электронного микроскопа (РЭМ)
Страница 19 из 19
3.8 КАМЕРЫ ОБРАЗЦОВ. ШЛЮЗОВАНИЕ. СТОЛИКИ, ПОДСТАВКИ И ДЕРЖАТЕЛИ ОБРАЗЦОВ.
Образцы для исследования крепятся на держателе образца различными способами (с помощью проводящего скотча, с помощью подставок для образцов, с помощью проводящего лака и т.д.). Держатель с образцами устанавливается через шлюз на предметный столик (рисунок 47) в камеру образцов (рисунок 48). Столик у микроскопа может быть моторизованный и немоторизованный, эвцентричный, допускать перемещение в 3х направлениях, наклон от -10 до+90 градусов, вращение вокруг оси на угол от 0 до 360 градусов.
Рисунок 47 – Схема столика образцов
Рисунок 48 – Камера образцов
