Лекция 3. Структура растрового электронного микроскопа (РЭМ)
Астигматизм связан с несовершенством линз (их локальной неоднородностью) или наличием мелких загрязнений на внутренних поверхностях деталей электронной колонны (рисунок 41). Он проявляется как в расфокусировке мелких объектов, так и в искажении их изображения.
Стигматор корректирует магнитное поле линзы, восстанавливая его симметрию. Он расположен в объективной линзе. Стигматор может быть 4-х полюсным и 8-полюсным (рисунок 42). Принцип регулировки: находят 2 положения хорошей фокусировки в двух взаимно перпендикулярных плоскостях, отмечая при этом те направления регулировки, при которых обеспечивается получение четкого изображения. Устанавливают фокусировку между этими положениями и, используя стигматор, стремятся улучшить качество изображения (регулируя ручками по осям X и Y). Повторяют эту операцию при большем увеличении.
