Лекция 3. Структура растрового электронного микроскопа (РЭМ)
Страница 14 из 19
3.5 ДИАФРАГМЫ
Диафрагмы (апертуры) пропускают только узкие пучки, в т.ч., сфокусированные, отсекая сильно рассеянные, что позволяет улучшить четкость изображения. Диафрагма представляет собой тонкий диск или пластину, изготовленные из платины или молибдена, с отверстием для прохождения через него пучка электронов (рисунок 43).
Диафрагма конденсорной линзы служит для отсечения внешних зон исходного пучка электронов (отсекает боковые пучки).
Рисунок 42 – 4х и 8-ми полюсные стигматоры (а) и реальное изображение стигматора (б)
