Лекция 3. Структура растрового электронного микроскопа (РЭМ)
Страница 16 из 19
3.6 ЭЛЕКТРОННЫЙ ЗОНД
Основными параметрами электронного зонда (пучка) являются (рисунок 44):
диаметр пучка – dp
Ток пучка - ip
Расходимость пучка - αp
Использованное для формирования зонда ускоряющее напряжение - Vo
Рисунок 44 – Электронный зонд и его параметры
Исходя из поставленной исследователем задачи (пространственное разрешение, глубина фокуса, качество картинки (отношение сигнал/шум), время анализа) подбираются параметры пучка.
