Лекция 3. Структура растрового электронного микроскопа (РЭМ)
Страница 17 из 19
3.7 ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ
Для предотвращения рассеяния пучка электронов на молекулах воздуха колонна микроскопа находится под высоким вакуумом, создаваемым ротационным и диффузионным насосами.
Работа ротационного насоса ос¬нована на всасывании откачиваемого газа при периодичном увеличении объёма рабочей камеры и выталкивании газа на выход при уменьшении этого объё¬ма и сжатии газа до давлений, доста¬точных для открывания выпускных клапанов (рисунок 45).
Рисунок 45 – Схема ротационного насоса
В диффузионном насосе (рисунок 46) пары разогретого масла, поднимаясь к верней части насоса, увлекают за собой молекулы воздуха, под тяжестью которых они опускаются на дно насоса и переходят в распределительный баллон. Вакуум в колонне достигает 10-3-10-4 Па.
