Лекция 3. Структура растрового электронного микроскопа (РЭМ)
Страница 7 из 19
Плюсы и минусы исследуемых катодов сведены в список:
W катод простой и недорогой.
LaB6 катод дает большую яркость чем W катод (примерно в 10 раз), но стоит дороже и требует повышенного вакуума
FE дает большую яркость, чем катод с термоэлектронной эмиссией.
FE создает более монохроматичный и тонкий пучок электронов (улучшает пространственное разрешение).
Рисунок 33 - Составные части катодного узла современного РЭМ: катод с вольфрамовой нитью(а) и цилиндр Венельта (б)
