Выбор величины апертуры (диафрагмы)
Диафрагма конденсорной линзы служит для отсечения внешних зон исходного пучка электронов.
Диафрагма объективной линзы ограничивает диаметр пучка и позволяет контролировать сферическую аберрацию. Она расположена перед сканирующими катушками. Для высокого пространственного разрешения выбирается маленькая апертура, однако, при больше апертуре получается больший диаметр пучка и больший ток.
Апертура уменьшает угол исходного пучка, выходящего из конденсорной линзы и попадающего в объективную. Вместе с этим уменьшается расходимость пучка (уменьшается апертурный угол) и растет глубина фокуса (рисунок 87), но уменьшается исходное количество электронов, долетаемых до образца (невырезанных диафрагмой) и уменьшаются аберрации.
Рисунок 87 – влияние размера апертуры объективной линзы на глубину фокуса
Влияние размера диафрагмы приведено на рисунке 88.
Рисунок 88 - Влияние диаметра объективной диафрагмы на качество изображения
