Введение в РСМА
Рентгеноспектральный микроанализ (РСМА) – метод химического анализа микрообласти образца, в которой характеристическое рентгеновское излучение возбуждается сфокусированным пучком электронов. Рентгеновский спектр содержит линии, которые характеризуют присутствие данного элемента в пробе (образце). (Обычно растровый электронный микроскоп содержит приставки для РСМА.)
Сравнивая интенсивности линий в образце и в стандарте (чистый элемент или соединение известного состава) при одинаковых аналитических условиях можно определить концентрации элементов (т.е. провести количественный анализ).
Погрешность определения (относительная) различная для легких и тяжелых элементов и составляет в среднем величину порядка 1%. Предел обнаружения зависит от использованного спектрометра и при идентификации по энергии фотонов – 0,1%, пространственное разрешение – обычно в районе 1 мкм, а может быть и ниже.
Рентгеновское излучение - часть спектра электромагнитного излучения, лежащего в области длин волн между 0,01 и 0,1 нм. Оно возникает при бомбардировке пучком электронов образца, обусловлено неупругим взаимодействием этих электронов с атомами образца. Возникающий спектр состоит из характеристического (линейчатого) и тормозного (непрерывного) излучения (рисунок 90).
Непрерывный спектр образуется за счет торможения первичных электронов в сильных электромагнитных полях ядер атомов образца. В процессе неупругого взаимодействия электрон теряет часть энергии, которая переходит в энергию излучения рентгеновского фотона.
