Страница 8 из 11
Последовательность РСМА.
Получить изображение исследуемой области, выбрав необходимые параметры:
- ускоряющее напряжение (5-10кВ для легких элементов, 10-20кВ для тяжелых),
- ток пучка (величина тока зонда, обеспечивающая достаточную скорость счета - не менее 2000-3000 имп/ c ),
- рабочее расстояние WD (расстояние от полюсного наконечника объективной линзы до образца, перемещая положение столика по высоте, добиваемся расположение образца в фокусе при рекомендуемом рабочем расстоянии для данного типа детектора),
- наклон образца и расположение детектора (при наличии моторизованного столика и системы Управления Микроскопом эти данные считываются программой автоматически)
- Провести количественную оптимизацию (на полученные рабочие параметры системы) на эталоне (на основании спектра высокого качества вычисляются и сохраняются в системе данные о токе зонда и усилении спектрометра).
Установить подходящие
- Живое время накопления спектра (время, в течение которого система учитывает импульсы в спектр, оно больше настоящего на величину мертвого времени, оно должно обеспечивать набор не менее 250 000 имп. в суммарном спектре, обычно 100 сек.)
- Время обработки (время, потраченное на снижение шумов в процессе обработки сигнала, 1- 6, чем меньше время обработки, тем больше шум)
