С помощью специальных компьютерных программ автоматически определяется положение каждой из полос Кикучи, производится сравнение с теоретическими данными о соответствующей кристаллической фазе и быстро вычисляется трехмерная кристаллографическая ориентация (рисунок 102). Весь процесс от начала до конца занимает <0.02 секунд для каждой точки анализа.
Рисунок 102 - Пример картины ДОЭ высокого разрешения, полученной от кремния при ускоряющем напряжении 20 кэВ
Для получения карт ориентации кристаллитов электронный зонд последовательно перемещается по регулярной сетке точек, для каждой точки формируется картина ДОЭ, компьютерная программа индексирует ее и сохраняет информацию об ориентации и фазовом составе.
Ориентация кристалла вычисляется из положения полос Кикучи, сформированных при дифракции отраженных электронов на фосфоресцентном экране. Положение полос Кикучи вычисляется на основе преобразования Хафа, которое заключается в преобразовании координат точек множества линии дифракционной картины в группу линий в полярных координатах пространства Хафа (рисунок 103б), пересекающихся в некоторой яркой точке (рисунок 103б)
а) б)
Рисунок 103 – Преобразование Хафа (а - преобразование декартовых координат точки картины Кикучи в полярные, б - Пространство Хафа)
