Зависимость от тока пучка
Низкая величина тока пучка приводит к увеличению времени, необходимого для набора и распознавания картин EBSD . С увеличением тока пучка это время сокращается, однако растет размер пучка, что приводит к ухудшению пространственного разрешения. Оптимальная величина зависит от поставленной задачи: при получение карт ориентировок из значительного количества точек рекомендуется увеличивать ток пучка, использовать объединение нескольких пикселей картины в один суперпиксель (биннинг), увеличивать коэффициент усиления, вычитать статистический фон; при микроструктурном анализе – снижать ток.
Зависимость от материала образца
Увеличение атомного номера исследуемого материала улучшает пространственное разрешение метода. При использовании полевой эмиссии разрешение в Al составляет 60 нм, в Ni – 40 нм, в Pt – 10 нм.
Точность и погрешности метода
Точность определения ориентировки методом EBSD в основном зависит от разрешения видеокамеры и оцифрованной Картины EBSD , а также от алгоритма индицирования. Типичная погрешность метода составляет величину, примерно равную 1 градус. Однако она может быть уменьшена увеличением числа полос Кикучи, используемых для индицирования, и за счет усреднения значения ориентировок, измеренных внутри зерна.
В силу того, что образец исследуется под наклоном 70 градусов, рабочее расстояние при перемещении пучка по исследуемому растру изменяется, изображение становится расфокусированным. Кроме того, изображение искажается (сжимается). Для исправления этих особенностей используется динамическая фокусировка пучка от точки к точке сканирования и компенсация искажения пропорционально углу наклона образца (рисунок 106).
а) б)
Рисунок 106 – Компенсация искажения электронного изображения (а – сжатое электронного изображения, б – электронное изображение с учетом компенсации угла наклона образца)
