НИТУ 'МИСиС' Минобрнауки РФ TOKYO BOEKI База данных по материаловедению. Материалы XXI века
База данных по материаловедению. Материалы XXI века

Лабораторная работа №3. Настройка электронно-оптической системы просвечивающего электронного микроскопа

ИЛИ сведением пучка ручкой яркости (BRIGHTNESS) по часовой стрелке в минимальное пятно. Если вокруг пучка есть пятно – «ореол», его необходимо убрать, изменяя положение образца по вертикали клавишами и добиться отсутствия «ореола» или его минимизации. «Ореол» должен «поглотиться» пятном от пучка.

(При достижении фокуса в светлопольном изображении контраст становится минимальным)

Юстировка конденсорной апертуры(CL) (центровка диафрагмы)

Сводим пучок до минимального размера –BRIGTNESS и приводим пучок в центр экрана - SHIFT-ами X и Y, разводим пучок почти на весь экран BRIGTNESS (яркость).

Вводим апертуру конденсорной линзы (№1 – самая большая для режима ТЭМ), винтами на самой апертуре конденсорной линзы, центрируем её положение.

Сводим пучок в центре экрана BRIGTNESS (яркость). Если пучок «гуляет» не по центру, центрируем его SHIFT-ами X и Y. Процедуру необходимо выполнять пока пучок не станет сходиться в центре экрана.

Коррекция астигматизма конденсорной линзы (CL)

Если при изменении размера пятна на экране вместо круглой формы пятно будет иметь вид вытянутой формы, необходимо нажать кнопку COND STIG и дефлекторами (DEF/STIG) выровнять форму пучка, сводя и разводя пучок BRIGTNESS (яркость). При этом пучок должен сохранять форму окружности. После этого отжать кнопку COND STIG. Если пучок двоится или четверится – нажать кнопку Tilt (Compensator в меню Aligment Panel) и дефлекторами свести пучок в одно пятно.

За размер пятна Spot Size отвечает первая конденсорная линза. Spot size 5 – конденсорная линза возбуждается слабо. Spot size 1 – конденсорная линза возбуждается сильнее. Астигматизм конденсорной линзы зависит от размера конденсорной диафрагмы и установленного размера пятна (регулировки Spot Size), поэтому астигматизм необходимо регулировать при изменении того и другого.