Лабораторная работа №3. Настройка электронно-оптической системы просвечивающего электронного микроскопа
Объективная линза
Юстировка Вольтового центра (без апертуры объективной линзы)
Центр, относительно которого происходит периодическое расширение и сжатие изображения, называется центром высокого напряжения. Для юстировки ВЦ и OL применяется схема качания высокого напряжения (Wobbler HT).
Переходим на приемлемое увеличение более х100000. На образце находим отверстие или «островок» на краю образца и выводим это место в центр экрана.
Нажать кнопку HT Wobbler. При этом на экране будет наблюдаться пульсация (возможно очень сильная) со смещением изображения по осям X и Y.
Нажать кнопку BRIGTH TILT и работать дефлекторами до тех пор, пока не уйдет смещение. Если смещение будет по одной оси, то следует работать дефлектором, относящимся к данной оси. Остаться должна чистая пульсация, без смещения изображения.
Если ВЦ не настроен, то изображение едет в сторону при фокусировке. Чем сильнее расстроен ВЦ, тем сильнее видна расфокусировка.
Когда юстировка закончена- отжать кнопку HT Wobbler и BRIGTH TILT.
При переходе на другое увеличение Вольтов центр должен быть настроен заново.
Юстировка объективной линзы (OL)
Коррекция астигматизма объективной линзы (OL) (с апертурной диафрагмой - полосы Френеля)
Перед началом процедуры необходимо найти на изображении отверстие или край образца и привести его в центр экрана.
Ручкой OBJ Focus расфокусируем изображение краев отверстия до появления полос Френеля - (полос, видимых вдоль края изображения отверстия, при легкой перефокусировке (светлые линии), при недофокусировке (темные линии)).
Нажать кнопку OBJ STIG и работая дефлекторами DIFF/STIG добиться равномерного расположения вокруг частицы полосы Френеля. После этой процедуры обязательно сфокусировать изображение.
