Лабораторная работа №3. Настройка электронно-оптической системы просвечивающего электронного микроскопа
Астигматизм необходимо убирать каждый раз при переходе с одного места образца на другое (разная толщина объекта) и при больших увеличениях изображения.
Коррекция астигматизма линзы проводится при среднем увеличении ≈х20000 и высоком увеличении более ≈х100000
Коррекция астигмаизма промежуточной линзы (PLA, каустика дифракции)
Для юстировки промежуточной линзы перейти в режим дифракции DIFF, свести пучок в минимум (BRIGTNESS (яркость)) , при этом используем SPOT SIZE 3.
Приводим пучок в центр экрана, нажав кнопку PLA, дефлекторами DIFF/STIG X и Y.
Если развести пучок и увидеть его несферичность необходимо нажать F5 (IL STIG) и дефлекторами выровнять пучок (сфера). Отжать IL STIG и свести пучок в минимум. Если пучок не в центре экрана - включить PLA и дефлекторами привести пучок в центр экрана.
Ставим апертуру объективной линзы. Центрируем винтами на самой апертуре,возвращаем SPOT SIZE 2.
Переходим в режим увеличения MAG1 на R1 и меняем яркость, тем самым мы переходим из режима дифракции в режим светлого поля (MAG1).
Юстировка прибора после смены катода
Убрать образец из колонны микроскопа и поместить пустой держатель образца в колонну.
Убрать все подвижные диафрагмы (апертуру конденсорной, объективной и промежуточной линз)
Открываем 2 окна в меню: Control-Alignment Panel и Wobbler
Включаем накал, ток вырос
Нажать в окне Wobbler на GUN X, при этом меняется напряжение на пушке по GUN1 X – смещение пучка по X.
В окне Control - Alignment Panel нажать GUN Alignmentи и работая SHIFT-ами, привести пучок в центр экрана.
