Лабораторная работа №3. Настройка электронно-оптической системы просвечивающего электронного микроскопа

• | Печать |
•  E-mail

Необходимо добиться, чтобы все значения в таблице LENS/DEFLECTOR MONITORS -GUN 2 (наклон) были равны нулю (GUN 1 - смещение, GUN 2 – наклон) Включаем GUN Y и дефлекторами Y находим пучок.

Чтобы быстрее найти пучок, включить в меню Wobbler GUN Y и SHIFT–ами искать пучок. Когда пучок найден Wobbler отключить и запомнить значение GUN 2 (примерно 0.92). Рекомендуемое стандартное увеличение для юстировки х12000.

Когда ведем пучок в центр экрана, интенсивность пучка падает - в таком случае работаем дефлекторами, увеличивая яркость и SHIFT-ами центрируя пучок.

Баланс дефлектора: переходим на SPOT SIZE 5 (L1) и находим пучок. Включаем BRIGT TILT (L1), приводим пучок в центр экрана SHIFT-ами, затем возвращаем значение SPOT SIZE 1 (L1)

Проверка центра пучка. Если не в центре, то включаем GUN Alignment и SHIFT-ами приводим пучок в центр экрана.

Эту процедуру продолжаем до тех пор, пока пучок не станет оставаться в центре экрана при изменении размера пятна SPOT SIZE 1 до 5. Если пятно пучка при SPOT SIZE 2 -4 резко уходит далеко, включаем на мониторе в меню Alignment Panel-SPOT Alignment, и дефлекторами приводим пучок в центр

Что такое аберрация?
Какие виды аберраций влияют на разрешение ПЭМ?
Какие устройства исправляют астигматизм?
Чем определяется предельное разрешение ПЭМ?
При каких увеличениях происходит исправление астигматизма и как?

Включить ПЭМ
Установить образец в держатель образца
Провести все выше описанные процедуры юстировки
Получить электронные изображения образца при увеличениях х50000-х300000.
Провести корректировку астигматизма объективной линзы при высоком увеличении
Выключить ПЭМ
Оформить отчет по работе