НИТУ 'МИСиС' Минобрнауки РФ TOKYO BOEKI База данных по материаловедению. Материалы XXI века
База данных по материаловедению. Материалы XXI века

4.6.6 Распыление

Страница 1 из 2

Смещения поверхностных атомов, или распыление, происходит в ПЭМ при напряжениях менее 0.5Et. Если ваш образец довольно толстый, то это проблема незначительна, так как в среднем по толщине, характеристики образца не изменяются значительно при изменениях на поверхности.

Рисунок 4.12 Максимальная передаваемая энергии для различных атомов как функция пороговой энергии смещения. Максимальная величина энергии для коммерческих ПЭМ равна 400 кэВ, и типичное значение Ed показано как 25 эВ, но оно может существенно варьироваться в зависимости от силы связи в различных материалах.

Но, уже не раз отмечалось, ваши образцы должны быть действительно очень тонкие (чем тоньше, тем лучше), если вы хотите, получить наилучшее изображение и аналитическую информацию. В этих образцах, изменения структуры поверхности и химии могут быть достаточны, чтобы повлиять на интерпретацию изображения, а изменения среднего по толщине состава достаточно, чтобы повлиять на точность любого количественного анализа. Таблица 4.3 приведены типичные пороговые энергии распыления (Es) в сравнении с порогом смещения (Ed) и их относительные значения в сравнении с тем, сколько энергии может быть передано атому электронами разных энергий.