4.6.6 Распыление
Страница 2 из 2
ТАБЛИЦА 4.3 Сравнение максимальной передаваемой кинетической энергии (T) при 100, 200, 300 и 400 кэВ и энергией смещения (Ed) и распыления (Es)
|
Элемент |
T (эВ) |
Ed (эВ) |
Es (эВ) |
|||
|
100 кэВ |
200 кэВ |
300 кэВ |
400 кэВ |
|||
|
Al Ti V Cr Fe Co Ni Cu Zn Nb Mo Ag Cd Ta Pl Au |
8.93 5.00 4.73 4.63 4.31 4.08 4.10 3.79 3.69 2.59 2.51 2.23 2.14 1.33 1.23 1.22 |
19.5 11.0 10.3 10.1 9.40 8.91 8.94 8.26 8.03 5.65 5.47 4.87 4.67 2.90 2.69 2.67 |
31.6 17.8 16.72 16.38 15.25 14.45 14.5 13.4 13.03 9.17 8.88 7.90 7.58 4.71 4.37 4.32 |
45.3 25.5 24.0 23.5 21.8 20.7 20.8 19.2 18.7 13.2 12.7 11.3 10.9 6.75 6.26 6.2 |
16 15 29 22 16 23 22 18 16 24 27 28 20 33 33 36 |
4–8 |
|
4–8 |
||||||
|
7-14 |
||||||
|
5-11 4-8 5-12 6-11 4-9 4-8 6-12 7-14 7-14 5-10 8-16 8-16 9-18 |
||||||
