5.2 Характеристики электронного пучка
Электронный пучок в ПЭМ требует определенных характеристик, которые находятся под контролем самого источника и того, как мы помещаем источник в пушку. Производительность источника электронов описывается такими терминами, как яркость, когерентность и стабильность.
