НИТУ 'МИСиС' Минобрнауки РФ TOKYO BOEKI База данных по материаловедению. Материалы XXI века
База данных по материаловедению. Материалы XXI века

7.1 Введение

Как уже было показано на рисунке 2.1, электронно-микроскопические изображения и дифракционные картины, являются по сути двумерным распределением плотности электронов, которое получается, при рассеивании электронов тонким образцом. Мы обнаруживаем и отображаем их по-разному, в зависимости от того, какой режим работы мы используем ПЭМ или СПЭМ. В традиционных ПЭМ, изображения и дифракционная картина статичны, т.к. пучок электронов зафиксирован, и мы можем легко спроецировать их на экран просмотра внизу колонны микроскопа. ПЭМ изображения это аналоговые изображения распределения плотности электронов в плоскости изображения объективной линзы. Мы не можем управлять изображением или его контрастом каким либо образом в промежутке, когда электроны вылетают из плоскости изображения и проецируются на экран просмотра.

Когда мы работаем, на ПЭМ в СПЭМ режиме, изображение не является статичным, оно получается в течение определенного периода времени пока небольшой зонд сканирует область в материале, которая нас интересует. В этих условиях мы можем обнаружить сигналы электронов несколькими путями. Если мы ищем сигнал вторичных электронов (ВЭ) или обратного рассеянных электронов (ОРЭ), то эти детекторы находятся в микроскопе в районе столика для образца. Если мы ищем вперед рассеянные электроны, те же, что мы видим на экране ПЭМ, то их детекторы находятся в камере просмотра ПЭМ.

Аналоговые сигналы детектированных электронов в режиме СПЭМ обычно оцифровываются и визуализируются с помощью электроннолучевой трубки (ЭЛТ). Цифровые сигналы могут, естественно, анализироваться компьютерным способом.

В стандартном режиме ПЭМ для регистрации изображения и дифракционной картины в настоящее время все чаще используются ПЗС-камеры (ПЗС-прибор с зарядовой связью), которые позволяют видеть и анализировать изображение «in situ».