7.3 Детекторы электронов
Существует несколько альтернатив для люминесцентных экранов для детектрования электронов. Эти и другие детекторы электронов играют важную роль в СПЭМ и АЭМ (а также в СЭМ). Они на самом деле важны для формирования изображения в СПЭМ. Такие детекторы делятся на два вида: полупроводниковые (Si p-n переход), детекторы и сцинтилляционныt ФЭУ системы.
