1.2.3 Взаимодействие электронов с веществом
Для того, чтобы получить наилучший сигнал из наших образцов мы должны направить на него лучший сигнал (пучок электронов), и таким образом выбор источника электронов является критическим. Для локализации этих сигналов мы должны в наших ПЭМ получать очень узкий пучок электронов (или зонд, как его часто называют), как правило, <5 нм и в лучшем случае <0,1 нм в диаметре. Для этого мы объединяем техники ПЭМ и сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) для того, чтобы создать сканирующий-просвечивающий электронный микроскоп (СПЭМ). На самом деле существуют инструменты, которые способны работать только в режиме сканирования, и они иногда называют специализированными СПЭМ приборами. АЭМ предпринимают попытки улучшить аналитические характеристики при промежуточных напряжениях, похожие на улучшение разрешения изображения предпринимаемые в стандартном ПЭМ.
Таким образом можно выделить наиболее важные моменты, Cs коррекция позволяет получать маленькие электронные пучки с большими токами, тем самым значительно улучшая как аналитические, так пространственное разрешение и чувствительность. Коррекция хроматической аберрации (т.е. фильтрация по энергии) также предлагает возможность формировать изображения в электронах с целым рядом конкретных значений энергий, позволяющих визуализировать ширину запрещенной зоны и изображения химических связей.
