А) Б)

В) Г)

Д) Е)

Рисунок 1.9 - Различные коммерческие ПЭМ: (А) JEM 1,25 МэВ ВВЭМ. Обратите внимание на размер инструмента, часто высоковольтный бак располагается в другой комнате над колонной. (Б) Zeiss ВРПЭМ с Cs корректором и энергетическим фильтром в колоне. Обратите внимание на большую раму, необходимую для обеспечения высокой механической стабильности для получения высокого разрешения. (В) Hitachi 200 кэВ выделенный СПЕМ микроскоп; обратите внимание на отсутствие камеры для просмотра. Такие инструменты часто предназначены для анализа причин брака для производителей полупроводниковых устройств. Образцы, утоненные из пластин на производственной линии, могут быть легко транспортированы и изучены. (Г) JEOL 200 кэВ ПЭМ/СПЭМ; хотелось бы отметить также на отсутствие камеры для просмотра. (Д) Nion 200 кэВ сверхвысоковакуумный SuperСПЭМ; только для американского производства (Е) ПЭМ и действующий обладатель лучшего в мире разрешения изображения на сегодняшний день (Ж) FEI Titan.