НИТУ 'МИСиС' Минобрнауки РФ TOKYO BOEKI База данных по материаловедению. Материалы XXI века
База данных по материаловедению. Материалы XXI века

Лекция 1. История развития и назначение растровой электронной микроскопии

Рисунок 13 – Варианты применения растровой электронной микроскопии в микроэлектронике