Лекция 1. История развития и назначение растровой электронной микроскопии
В 1960 Томас Эверхарт и Ричард Торнли изобрели новый детектор («детектор Эверхарта-Торнли»), ускорив тем самым развитие электронной растровой микроскопии. Этот детектор, крайне эффективный для сбора как вторичных, так и отражённых электронов, становится очень популярным и встречается сейчас на многих РЭМ (рисунок 9).
1965. Cambridge Instrument Co. и JEOL - первый коммерческий сканирующий электронный микроскоп — Stereoscan
1.4 ВАРИАНТЫ ПРИМЕНЕНИЯ РАСТРОВОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ В НАУЧНЫХ И ПРИКЛАДНЫХ ИССЛЕДОВАНИЯХ И РАЗРАБОТКАХ.
Сегодня возможности растровой электронной микроскопии (РЭМ) используются практически во всех областях науки и промышленности, от биологии до наук о материалах. Существует огромное число выпускаемых десятками фирм разнообразных конструкций и типов РЭМ, оснащенных детекторами различных типов.
В материаловедении и геологии – это исследование морфологии частиц, в том числе и наноразмерного диапазона; изучение характера поверхности разрушения деталей и конструкций (фрактография) , исследование структурных элементов, покрытий, композитов, неоднородности минералов и т. д. (рисунок 11).
В биологии – анализ костей, тканей, клеток и их составляющих, срезов, вирусов, бактерий, микроорганизмов, их отдельных органов и т д (рисунок 12).
Растровый электронный микроскоп практически единственный прибор, который может дать изображение поверхности современной микросхемы или промежуточной стадии фотолитографического процесса (рисунок 13).
Увеличение современных приборов варьируется от х5 до х1 000 000 с пространственным разрешением до 1 нм. Возможен анализ непроводящих объектов в режиме низкого вакуума.
