Лекция 1. История развития и назначение растровой электронной микроскопии
1.2. РАЗРЕШАЮЩАЯ СПОСОБНОСТЬ В МИКРОСКОПИИ
Главной характеристикой любого оптического прибора является разрешающая способность. Это относится и к РЭМ. Разрешающая способность микроскопа - это способность микроскопа выдавать чёткое раздельное изображение двух близко расположенных точек объекта. Так на электронном изображении (рисунок 5) показаны частицы золота на углеродной подложке (расстояние между наиболее близкими частицами около 1 нм).
Пространственное разрешение пропорционально длине волны электронов, которая в свою очередь - ускоряющему напряжению, которым они разгоняются. Длина волны в электронном микроскопе на 5 порядков меньше, чем длина волны видимого света и примерно на два порядка меньше, чем обычный размер атома. Длина волны составляет примерно λ ~0.0025 нм при ускоряющем напряжении 200kV. Именно поэтому разрешение электронного микроскопа значительно выше, чем разрешение оптического.
