НИТУ 'МИСиС' Минобрнауки РФ TOKYO BOEKI База данных по материаловедению. Материалы XXI века
База данных по материаловедению. Материалы XXI века

6.5.2 Хроматическая аберрация

Термин хроматическая аберрация относится к "цвету" (то есть, частоте, длине волны, или энергии) электронов. До сих пор предполагалось, что электроны монохроматичны, какими они не являются на самом деле. Тем не менее, мы можем сделать очень хорошую стабильность ускоряющего напряжения и изменения энергии электрона в связи с нестабильностью источника питания блока высокого напряжения, как правило, меньше 10-4%, что составляет 0.1 эВ для 100-кэВ пучка. Как уже говорилось, в зависимости от источника электронов, фактически энергетический разброс в пучке может варьироваться от 0.3 эВ (холодный полевой источник) до 1 эВ (LaB6). Этот диапазон все еще достаточно мал, чтобы мы не беспокоились о влиянии хроматической аберрации на разрешение изображения. Исключением является, тот случай если вы имеете микроскоп с Cs корректором, т.к. после компенсации Cs, Cc является следующей наиболее значимой аберрацией.