6.5.1 Сферическая аберрация
Сферическая аберрация возникает, когда поле линзы воздействует по-разному на внеосевые пучки. Для электромагнитных линз в ПЭМ, чем дальше от оси проходят электроны, тем сильнее они наклоняются к оси. В результате сферической аберрации точечный объект изображается в виде диска с конечными размерами, который и ограничивает нашу способность увеличивать, т.к. детали изображения деградируют в результате процесса визуализации. Как уже говорилось, в настоящее время существует возможность исправить эту аберрацию, но она по-прежнему ограничивает разрешение большинства ПЭМ.
Эффекты сферической аберрации показаны на рисунке 6.11.С. Точка объекта P отображается в P’ в плоскости гауссова изображения.
Изображение уже не является точкой, а состоит из центральной области с высокой интенсивностью, окруженной ореолом с уменьшающейся интенсивностью (как на рисунке 2.11). Сферическая аберрация является самой важной в объективной линзе, потому что она размывает детали, которые мы можем разрешить в ПЭМ изображениях: все другие линзы лишь увеличивают ошибки которые она вводит. Не менее вредна сферическая аберрация для конденсорных линз в АЭМ или СПЭМ, которые необходимы для формирования наименьшего зонда с наибольшим током.
