6.6 Разрешение электронных линз

В световой оптике слово разрешениестрого применяется с способности отображать мелкие детали на изображении образца. Разрешающая способность микроскопа это способность различать в изображении две точки, которые находятся близко друг к другу в объекте. Минимальное расстояние между этими двумя точками в объекте является минимальным разрешаемым расстоянием. Так как в электронной микроскопии обычно говорят о разрешении ПЭМ в терминах расстояния в объекте (обычно доли нанометра), то мы должны использовать термин минимально разрешаемого расстояния, но вместо этого все говорят разрешение. Поскольку несовершенства линз приводят к тому, что точечный объект размывается в гауссовой плоскости в диск с конечным радиусом (некоторая комбинация из r_sph, r_chr, r_ast), они ограничивают разрешение электронных линз, и, следовательно, микроскопа в целом. Разрешение изображения в ПЭМ определяется способность объективной линзы получать изображение объекта, в то время как в СПЭМ разрешение изображения определяется тем, насколько большой ток мы можем зажать в маленький зонд, который представляет собой уменьшенное изображение источника электронов на образце. В любом случае, разрешение ограничивается аберрациями линз.