НИТУ 'МИСиС' Минобрнауки РФ TOKYO BOEKI База данных по материаловедению. Материалы XXI века
База данных по материаловедению. Материалы XXI века

6.6.2 Практическое разрешение вследствие сферической аберрации

Если предположить, что мы исправили астигматизм и исследуемый образец достаточно тонкий для того, чтобы пренебречь хроматическими аберрациями. В этих условиях, сферическая аберрация (rsph) будет ограничивать разрешение. Как следует из уравнения 6.15, rsph увеличивается как β3, что является очень сильной зависимостью. Разрешение в объекте, получается некоторой комбинацией Критерий Рэлея и ошибки, обусловленной аберрациями.

Рисунок 6.14 (A) Профили интенсивности Эйри-дисков от двух четко разделенных точечных источников P1 и P2; (B) два Эйри-диска расположены так близко, что они не могут быть разделены; (C) два Эйри-диска расположены таким образом, что максимум изображения P1 перекрывает минимум в P2. Это последнее положение является определением разрешение - критерием Рэлея и является наилучшим (дифракционным) разрешением получаемым в оптической системе без аберраций.

Мы начнем со сложения квадратов радиусов диска Рэлея и диска сферической аберрации (в гауссовой плоскости):

(6.19)

так как оба эти выражения для радиусов являются приближенными, то:

(6.20)