НИТУ 'МИСиС' Минобрнауки РФ TOKYO BOEKI База данных по материаловедению. Материалы XXI века
База данных по материаловедению. Материалы XXI века

6.6.2 Практическое разрешение вследствие сферической аберрации

Так как эти два условия меняются по-разному с изменением апертурного угла β, минимальное значение можно найти продифиринцировав r(β) по β и приравняв к нулю получивщееся выражение. Получаем:

(6.21)

Таким образом, мы получили оптимальное выражение для β, которое обычно приводят в виде:

(6.22)

Точное численное значение коэффициента зависит от предположений сделаных для различных членов входящих в определение разрешения и его часто записывают как А. Иногда это оптимальное значение определяют простым приравниванием уравнений для rth и rsph вместо того, суммирования их квадратов. Быстрый расчет для 100-кэВ электронов (λ = 0,0037 нм) для микроскопа с Cs = 3 мм дает значение βopt 4,5 мрад.

Если это выражение для β_opt из уравнения 6.22 подставить в уравнение 6.20 мы получим минимальное значение r(β):

(6.23)

Это выражение дает практическое решение ПЭМ.

Числовой множитель в уравнении 6.23 часто пишется как B. Как правило, значение rmin равно 0.25-0.3 нм и лучшие высокоразрешающие микроскопы имеют rmin около 0.1 0.15 нм; 1 Å наилучшее доступное в настоящий момент разоешения для ПЭМ без Cs коррекции и около 0.07 нм наилучшее разрешение с Cs коррекцией. Так что, как было показано на рисунке 1.2, мы можем разрешить колонки атомов, которые в большинстве кристаллических материалах имеют расстояние близкое к rmin.

Стоит отметить, что, поскольку наши глаза могут решить расстояние около 0.2 мм, то максимальное полезное увеличение на лучших высокоразрешающих ПЭМ составляет около 3*106. Выше этого увеличения никаких новых подробностей изображения не будет появляться.