НИТУ 'МИСиС' Минобрнауки РФ TOKYO BOEKI База данных по материаловедению. Материалы XXI века
База данных по материаловедению. Материалы XXI века

10. Приготовление образцов для ПЭМ

Рисунок 10.14 Метод реплик

Скалывание

Это также один из старых методов, использовавшихся для препарирования тонких образцов графита, слюды, и других слоистых материалов. Липкую ленту приклеивают с обеих сторон и разводят две ленты в стороны. Процесс повторяют, пока не получится достаточно тонкий образец. Когда этот момент наступит можно лишь примерно сказать, исходя из собственного опыта. Пленку с чешуйкой образца помещают в растворитель и удаляют все следы клея. Используемый в настоящее время клей растворяется в трихлорэтилене, но, осторожно, – он очень токсичен!

90º-ный клин.

Метод 90º-ного клина используется для сколов материалов, таких как GaAs, выращенных в определенной ориентировке, например (001), и которые могут легко скалываться по (110) и (1-10) плоскостям, которые перпендикулярны плоскостям роста. Метод поясняется на рис. 10.16. Нужно сделать 90º-ный скол вблизи зоны интереса и смонтировать (приклеить) образец к поддерживающей шайбе нужно так, как изображено на рисунке 10.16. Образец прозрачен только в малой области на краю скола, но если скол удачный, то для обзора будет пригодна длинная полоса вдоль края скола.