9.4.2 Темнопольный СПЭМ изображения
Подход при получении темнопольных СПЭМ изображений аналогичен обычному ПЭМ. Мы формируем темнопольное изображение, используя любые или все из рассеянных электронов, а не электроны прямого пучка. Необходимо помнить, что в ПЭМ мы наклоняем падающий пучок, таким образом, чтобы рассеянные электроны, из которых мы хотим сформировать изображение, двигались по оптической оси и попадали в апертурную диафрагму объективной линзы. В СПЭМ, мы делаем это несколько иначе. Это сделать с помощью наклона и центрирования дифракционной картины или также можно перемещать диафрагму C2. Первое предпочтительнее, так как смещение диафрагмы уводит пучок с оптической оси и разюстирует систему освещения.
