9.4 Формирование дифракционной картины и изображения используя СПЭМ
Рисунок 9.16 Сканирование сходящимся зондом для формирования СПЭМ изображения с помощью двух пар отклоняющих катушек между C2 линзой (обычно выключенной) и верхним полюсным наконечником объективной линзы. Система двойного отклонения обеспечивает параллельность зонда оптической оси, во время процесса сканирования по поверхности образца.
Одно, потенциально наибольшее преимущество для СПЭМ является то, что, как и в СЭМ, мы не используем линзы для формирования изображения. Таким образом, дефекты в линзах, ответственных за формирование изображения,. не влияют на разрешение изображения, которое ограничивается только размером пучка. Хроматические аберрации, которые могут серьезно ограничить разрешение ПЭМ изображения, отсутствуют в СПЭМ изображениях. Это большое преимущество, если вы имеете дело с толстыми образцами
