9.6.1 Калибровка увеличения

• | Печать |
•  E-mail

Помните, что область образца, которую вы изучаете, должна быть точно на нужной высоте в колонне. В связи с ошибками в увеличении, ПЭМ не самый лучший инструмент для измерений абсолютных размеров частиц, и т.д. Однако, относительные измерения легко сделать с достаточной точностью (± 5%), если вы обратите внимание на меры предосторожности, которые только что были прописаны. Без калибровки, цифровая индикация, дает точность в значении увеличения не лучше ±10%, и поэтому неразумно ставить увеличение с точностью, лучше 10%.

Вы можете использовать такую же процедуру для калибровки СПЭМ увеличений несмотря на то, что увеличение цифровых СПЭМ изображений, в принципе, легко вычисляется по силе катушек сканирования. Увеличение изображения отличается от цифровой индикации микроскопа из-за изменений в объективной линзе. В таблице 9.1 показана разница между типичными значениями цифровой индикации увеличения в самом микроскопе для СПЭМ режима и экспериментально определенные увеличения с использованием реплики дифракционной решеткой.

Таблица 9.1 Калибровка увеличения в СПЭМ режиме для микроскопа с ускоряющим напряжением 120 кВ