10. Приготовление образцов для ПЭМ
Страница 6 из 22
Рисунок 10.5 (A) Кривая электрополировки, показывающая увеличение тока между анодом и катодом, при увеличении прикладываемого напряжения. Полировка соответствует плато на кривой, травление идет при низком напряжении, и питтинг при высоких напряжениях. (B) идеальные условия для получения полированной поверхности требует формирования вязкой пленки между электролитом и поверхностью образца.
Ионное травление
Утонение в этом методе происходит за счет бомбардировки ионами и нейтральными атомами. Схема установки показана на рис. 10.7. Условия могут задаваться ускоряющим напряжением, типом и током ионов, геометрией (углом падения ионов на образец), температурой образца (охлаждением жидким азотом).
