Рисунок 10.7 (А) Схема ионно-лучевого утоняющего устройства: газ Ar подается в ионизирующую камеру, где потенциал до 6 кэВ создает пучок ионов Ar, которые попадают на вращающийся образец. Хотя это не показано, весь прибор находится в вакууме. Образцы могут охлаждаться до температуры жидкого азота и возникновение отверстия в образце определяется по проникновению ионов через образец. (B) Типичная установка ионного утонения (PIPS, Gatan).