10. Приготовление образцов для ПЭМ
Страница 10 из 22
Рисунок 10.9 Последовательность шагов для утонения частиц и волокон: первое помещение их в эпоксидную смолу и отверждение эпоксидной смеси в 3-мм латунной трубке. Трубка и эпоксидная смесь затем разрезаются на диски алмазной пилой, вышлифовываются димплером и утоняются ионным травлением до прозрачности.
Дефектообразование существенно снижается, если используется реактивное ионное распыление. Более низкие энергии, скажем 3 кэВ, приводят к меньшим радиационным повреждениям, к меньшему разогреву образцов, однако время подготовки увеличивается.
